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中国机电抗震支撑系统供应商
新闻动态
恭喜雅仕格科技中标“投影光刻机曝光光学研发及批量生产基地”机电抗震支架工程
来源:
|
作者:
pro5618a4
|
发布时间:
392天前
|
166
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规划建筑面积12万平方米
,
预计2023年投入运行后
,
将拥有350/280nm节点
、
90/110nm节点
、
28nm及以下节点极大规模IC制造投影光刻机曝光光学系统产品的研发
、
设计与批量生产供货能力
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